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真空鍍膜設備存有著氣密性差的問題，假如鍍膜設備維護保養(yǎng)進行后，能做一次氣密性試驗，就可以規(guī)避許多不合格產(chǎn)品的造成，做到節(jié)省成本費用的效果。
真空鍍膜工藝在傳感器方面的運用在傳感器中，多選用那些電氣性質(zhì)相關于物理量、化學量及其變化來說，極為敏感的半導體資料。此外，其中大多數(shù)運用的是半導體的外表、界面的性質(zhì)，需求盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低報價制造、因而選用薄膜的狀況許多。
主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜（控制電柜、電子槍電柜）組成，其廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。
光學鍍膜設備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當?shù)臏囟?，材料受熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
維護與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養(yǎng)。
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