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唐鎮(zhèn)金屬鉭回收造型美觀鉭廢料回收

更新時間:2025-10-02 編號:b7uearr6042b1
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一定工作壓力下,制備的氮化鉭薄膜硬度高達4000kg/mm2以上。本文探討了氮化鉭薄膜高硬度的原因,并且討論了隨氮分壓的提高薄膜織構變化的原因

利用磁控反應濺射技術制備氮化鉭薄膜,對磁控反應濺射制備氮化鉭薄膜的工藝參數(shù)(包括氮分壓比、加熱溫度、濺射壓力、濺射電流)用正交設計進行優(yōu)化

氮化鉭為黃綠色結(jié)晶,屬型結(jié)晶,相對密度為15.6。晶格常數(shù)為a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔點為2950℃,顯微硬度為3200kg/mm2,轉(zhuǎn)化點溫度為17.8K。

利用磁控反應濺射技術制備了氮化鉭薄膜,利用TEM、XRD技術研究了薄膜的微觀結(jié)構。研究結(jié)果表明:薄膜中多相共存;薄膜晶粒細小(16nm左右);同時還發(fā)現(xiàn),在一定工作壓力下,隨著氮分壓的提高,氮化物晶粒形成的取向改變,即平行于基體表面生長的晶面會有改變。

氮化鉭靶材----氮化鉭(Tantalum mononitride)是一種化工材料,分子式為TaN,分子量為194.95。
用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。 在制造集成電路的過程中,這些膜沉積在硅晶片的頂部,以形成薄膜表面貼裝電阻

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上海增雨實業(yè)有限公司
  • 吳增寶
  • 上海 松江
  • 私營獨資企業(yè)
  • 2018-06-06
  • 錫條回收
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