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X射線光譜分析儀的好壞常常是以X射線強度測量的理論統(tǒng)計誤差來表示的，BX系列波長色散X射線熒光儀的穩(wěn)定性和再現(xiàn)性，已足以待測樣品分析測量的精度，被分析樣品的制樣技術成為影響分析準確度的至關重要的因素，在樣品制備方面所花的工夫將會反映在分析結果的質量上。X射線熒光儀器分析誤差的來源主要有以下幾個方面：1.采樣誤差：非均質材料樣品的代表性2.樣品的制備：制樣技術的穩(wěn)定性產(chǎn)生均勻樣品的技術3.不適當?shù)臉藰樱捍郎y樣品是否在標樣的組成范圍內(nèi)標樣元素測定值的準確度標樣與樣品的穩(wěn)定性4.儀器誤差：計數(shù)的統(tǒng)計誤差樣品的位置靈敏度和漂移重現(xiàn)性5.不適當?shù)亩繑?shù)學模型：不正確的算法元素間的干擾效應未經(jīng)校正顆粒效應純物質的熒光強度隨顆粒的減小而增大，在多元素體系中，已經(jīng)證明一些元素的強度與吸收和增應有關，這些效應可以引起某些元素的強度增加和另一些元素的強度減小。