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開機械泵、預(yù)抽,開渦輪分子泵電源、并啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后,關(guān)預(yù)抽,開前級泵和高真空閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能打開電子槍電源。
現(xiàn)有的真空鍍膜機,主要用于一些放氣量較少的普通玻璃上鍍膜,由于大面積有機玻璃放氣量較大,熱變形溫度低,剛性低,因此現(xiàn)有的真空鍍膜機無法鍍制大面積有機玻璃。現(xiàn)有的鍍膜機蒸發(fā)源間呈正方形分布,這樣鍍出的膜層均勻性差,無法大面積有機玻璃在鍍制過程中不變形。
為了克服現(xiàn)有技術(shù)之不足,提供一種真空鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
————— 認(rèn)證資質(zhì) —————