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用作超硬質(zhì)材料添加劑,可制備純的五氯化鉭:用于噴涂,增加變壓器、集成線路、二極管的電穩(wěn)定性
一定工作壓力下,制備的氮化鉭薄膜硬度高達4000kg/mm2以上。本文探討了氮化鉭薄膜高硬度的原因,并且討論了隨氮分壓的提高薄膜織構(gòu)變化的原因
氮化鉭為黃綠色結(jié)晶,屬型結(jié)晶,相對密度為15.6。晶格常數(shù)為a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔點為2950℃,顯微硬度為3200kg/mm2,轉(zhuǎn)化點溫度為17.8K。
利用磁控反應濺射技術制備了氮化鉭薄膜,利用TEM、XRD技術研究了薄膜的微觀結(jié)構(gòu)。研究結(jié)果表明:薄膜中多相共存;薄膜晶粒細?。ǎ保叮睿碜笥遥?;同時還發(fā)現(xiàn),在一定工作壓力下,隨著氮分壓的提高,氮化物晶粒形成的取向改變,即平行于基體表面生長的晶面會有改變。
用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕
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