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用作超硬質(zhì)材料添加劑,可制備純的五氯化鉭:用于噴涂,增加變壓器、集成線路、二極管的電穩(wěn)定性
一定工作壓力下,制備的氮化鉭薄膜硬度高達(dá)4000kg/mm2以上。本文探討了氮化鉭薄膜高硬度的原因,并且討論了隨氮分壓的提高薄膜織構(gòu)變化的原因
氮化鉭靶材合成
1、將金屬鉭粉用氮?dú)饣虬睔庠?100℃左右直接氮化制得;
2、以金屬鉭和氮?dú)鉃樵现苽涞g,反應(yīng)式如下:2Ta+N2=2TaN。
用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕
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