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因此，這些材料不會出現(xiàn)津析、排氣或萃取問題，由于聚對二甲苯能氣相沉積，它可涂覆于極細(xì)微的空間和空隙，由于其分子級聚合作用，即一次一個分子附著于沉積表面，聚對二甲苯涂層超薄，不會形成氣孔，并能敷形涂覆在元件上。聚對二甲苯還能滿足微小尺寸和極輕重量的裝置要求，任何用來保護(hù)微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對二甲苯不會顯著增加質(zhì)量，這對微型植入裝置來說是非常重要的優(yōu)勢。

在MEMS應(yīng)用中，聚對苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內(nèi)應(yīng)力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學(xué)惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學(xué)防護(hù)層、保護(hù)層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風(fēng)和切應(yīng)力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來調(diào)控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的器與末端探測器已經(jīng)研制出來。

聚對二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì)，可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無微孔無缺陷，化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。

聚對二甲苯是一種具有性能的敷形涂層材料，問世后在電子領(lǐng)域得到了應(yīng)用。1972年列入美軍標(biāo)46058C允許作為印刷電路板的敷形涂層材料，涂層厚度為0.0005-0.002英寸。
作為電子電路的防護(hù)涂層，Parylene不需另加防霉劑，本身防霉能達(dá)零級。在鹽霧實(shí)驗(yàn)中，與其它涂層相比，Parylene防護(hù)的電路電阻幾乎不下降，其它涂層則都有較大的下降。很薄的Parylene涂層能提供的防護(hù)性能，還有利于電路板工作熱量的消散，因此作為防護(hù)涂層Parylene能使電路具有更高的可靠性，特別是小型高密集度電子電路的防護(hù)，聚對二甲苯更顯示出其到的優(yōu)勢。

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