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鍍膜設備應該在高真空下工作,真空值的優(yōu)劣可以直接危害表層的鍍膜的質(zhì)量。有時鍍膜設備的真空值抽不出來或是真空值不太好,可能是連接頭松脫或是有焊接發(fā)生脫焊。傳統(tǒng)式的氣密性試驗方式應該鍍膜設備關機,充氮,再在猜測有漏的位置涂上肥皂泡,整個過程用時費事極易錯判,針對微小的泄露沒法檢驗。諾益氦質(zhì)譜檢漏儀運用氦氣做為示蹤氣體,小漏率低于5E-13Pam3/s,安全環(huán)保,檢漏時無需關機,立即在機械泵的旁通連接測漏儀便可以迅速有效的進行檢驗了。
有些真空鍍膜機真空計的讀數(shù),與氣體種類有關,比如熱偶計,電離真空計。選用適當?shù)臍怏w或液體做示漏物質(zhì),這些真空計便成了探測器,一般鍍膜機上都有真空計,使用起來很方便,也是常用到的一種檢漏方法。用于熱偶計的示漏物質(zhì)有,二氧化碳,丁烷,酒精等熱偶計反應較慢,觀察要很仔細。用于電離計的示漏物質(zhì)有氦,氬,酒精等。
真空鍍膜機為什么會越來越慢這種情況有兩種可能
1、設備內(nèi)部由于長時間鍍膜導致有些臟東西在加熱時放氣,所以這種情況需要維護,即把內(nèi)部屏蔽板拆下噴砂或脫膜,清理。
2、由微小的滲漏,沒有發(fā)現(xiàn),尤其是各個傳動部位密封,這種情況就是比較難查,如果沒有檢漏儀,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替換予以排除。也有人用注射針頭注射酒精觀察真空計的變化檢查,但一般漏的不大時不好判斷,至于你說的真空1.9的那個其實也并不高,還有就是漏率是按照你的設備體積以及單位時間的真空下降程度來算的不是按照真空值計算的,比如你的真空泵抽速好,抽氣能力強就有可能克服微漏而使真空顯示較高的數(shù)值。
真空鍍膜機的工作原理如下:
在鍍膜領域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個重要因素。因此,當評價某薄膜樣品的性能時,需要檢測該薄膜樣品不同厚度下的性能。對于真空鍍膜的情形,這往往需要進行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個問題:,不同次生長的樣品,儀器的狀態(tài)不同,以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜實驗裝取樣品需要重新進行真空的獲得,非常耗時。增加了生產(chǎn)和檢測的成本。
因此,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了、大面積有機光電器件和電路的制備。
真空鍍膜工藝在傳感器方面的運用在傳感器中,多選用那些電氣性質(zhì)相關于物理量、化學量及其變化來說,極為敏感的半導體資料。此外,其中大多數(shù)運用的是半導體的外表、界面的性質(zhì),需求盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低報價制造、因而選用薄膜的狀況許多。
鍍膜機工藝在裝飾品方面的運用跟著經(jīng)濟的開展和生活水平的進步,大家喜愛將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室表里裝飾件、五金箱包、手機殼、手機視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五光十色。
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