關(guān)鍵詞 |
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面向地區(qū) |
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研究表明,影響氮化鉭薄膜結(jié)合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度,氮分壓比、濺射電流為次要因素;氮分壓對(duì)氮化鉭薄膜的硬度影響較大
用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕
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