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MOX傳感器MCM設備的組成。測試系統(tǒng)需求為了測試這些設備，測試系統(tǒng)需要具備以下功能和屬性：測試/校準MOX傳感器的時間可能需要幾十分鐘。由于需要在真空和目標氣體“浸泡”傳感器，所以需要很長的“soak”時間。顯然，使用大型、的半導體測試儀，在soak期間需要閑置一段時間，這樣不能有效的利用這些昂貴的資源。所以，解決方案具有較低的初始資本成本。測試吞吐量很重要。由于駐留時間長，因此系統(tǒng)支持非常大的并行測試能力，這樣才能將soak時間內(nèi)分攤到多個設備上DUT負載板位于一個可以對氣體濃度進行控制的封閉環(huán)境中。
