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AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及園片傳送系統(tǒng)等的影響，更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物，而園片加工工序當(dāng)前已多于3多個立工序，對AMC控制指標(biāo)的確定更是復(fù)雜。IC生產(chǎn)對AMC的控制，對不同的產(chǎn)品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會有不同的要求，對各種污染物質(zhì)的要求當(dāng)前總的說法是控制在亞pptm～1pptm間。偏心半球閥采用上裝式結(jié)構(gòu)，在維修過程中，不需從管線中拆卸下來，只需卸下閥蓋上的螺栓，取下閥蓋，從而可以取出偏心軸，這樣了閥門能夠在線維修。偏心半球閥在開啟時應(yīng)流道完全暢通，在運(yùn)行時水頭損失小。球體采用半圓形通道，具有良好的流通性能和線性調(diào)節(jié)性能，且雜質(zhì)不會沉積在閥體中腔內(nèi)。偏心半球閥應(yīng)有足夠的強(qiáng)度，偏心曲軸采用固定球結(jié)構(gòu)，在高流速下無任何振動，殼體試驗(yàn)按國家標(biāo)準(zhǔn)GB13927-1992執(zhí)行。
