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因此,避免提拉系統的晃動是單晶爐結構設計的關鍵點之一。在生產實際中發(fā)現,某型號單晶爐的提拉系統在工作轉速接近13~14r/min范圍時,提拉系統的軟軸會出現明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質量和生產效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統進行分析,找出引起提拉系統軟軸晃動
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