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直拉硅單晶熱場加熱器設計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導流系統(tǒng)包括導流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。
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各種汽車工具的熱變形(如套筒扳手); 12、汽車、托車零部件的局部熱處理; 13、各種機械零部件的的局部熱處理(需廠家提供圖紙及技術(shù)要求)。 經(jīng)過齒輪軸淬火設備所淬軸類:硬度均勻、一致。淬層適中均勻。工作質(zhì)量很高。省電節(jié)能。操作方便。。齒輪軸淬火設備有多種電源和機床及輔助夾具的配置,可適用于直徑大500mm-小10mm的各種軸類零件的表面淬火。,是一種將工頻50HZ交流電轉(zhuǎn)變?yōu)橹蓄l(300HZ以上1000HZ)的電源裝置,把三相工頻交流電,整流后變成直流電,再把直流電變?yōu)榭烧{(diào)節(jié)的中頻電流,供給由電容和感應線圈里流過的中頻交變電流,在感應圈中產(chǎn)生高密度的磁力線,并切割感應圈里盛放的金屬材料,在金屬材料中產(chǎn)生很大的渦流。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性;籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件,無泄露,長期使用不需充磁;精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機均為進口件,確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴格的靜平衡和動平衡測試,高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm,適應半導體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導航、精密滾珠絲杠以及進口等功能件組合設計,確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運行。浮動式翻板閥設在主副爐室之間,可在熱場維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補充加料進行連續(xù)拉晶。