濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。

多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造，使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。

真空鍍膜中常用的塑料，ABS是早運用的，是一起滿意三個條件的塑料，A代表丙烯腈，B代表丁二烯，S代表苯乙烯，塑料中含有以上三種物質(zhì)的便是ABS塑料了，ABS鍍上膜層后，能夠很好的發(fā)揮其機械功能、抗沖擊性，依靠其硬度大，耐磨損，本錢不高，常常被用于替代某些金屬機械零部件，也用于出產(chǎn)家用電器的外殼，但由于含有丁二烯，ABS不能在室外運用，否則會變色。

PETP聚對苯二甲酸乙二醇醋，簡稱聚酯，是繼ABS后又一種滿意三種條件的塑料，所鍍的膜層具有很好的拉伸強度，耐性大。PS聚苯乙烯能夠接受100℃以下的溫度，真空鍍膜的習(xí)慣性也好，無色無味，耐酸堿性，是一種十分好的絕緣資料，不過由于容易脆裂，所以用處不是很廣泛。PC聚碳酸酯也能夠進行真空鍍膜，機械功能和抗沖擊性也好，但價格相對來說比較高，并且在成型時如果控制欠好，容易發(fā)生開裂。PA聚酰胺真空鍍膜后能夠防油防潮，遮光和隔熱功能也十分好，能夠作為出產(chǎn)包裝產(chǎn)品的資料。

眾所周知，真空鍍膜機的運行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運行，有必要對真空鍍膜機進行維護。那么，你知道真空鍍膜機維護的意義嗎?　　設(shè)備的日常維護就是發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中的異?，F(xiàn)象，盡早解決。如果發(fā)現(xiàn)機械泵的油量減少，應(yīng)該添加。不要認為應(yīng)該定期換油。否則，在進行維護時，泵的轉(zhuǎn)子可能會嚴重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問題就嚴重了，可能會出現(xiàn)電機燒毀等問題。

工件常用的除氣方法是烘烤。工件中的氣體和水分通過加熱排出。涂裝前，工件邊抽邊加熱。當(dāng)工件中的水分和氣體因受熱而釋放出來時，它們與真空室中的氣體一起被真空泵抽出。針對不同的工件采取不同的脫氣措施，可以有效控制工件內(nèi)部氣體和水的排放，提高涂層的穩(wěn)定性和均勻性。