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提拉頭:主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒:包括取光孔、下爐筒:包括抽真空管道、底座機(jī)架:全鑄鐵機(jī)架和底座? 坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進(jìn)水水管,若干膠管 水管卡套等、管道布置:質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜:電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,太陽能光伏發(fā)電站和風(fēng)力發(fā)電站的相關(guān)設(shè)備。其中硅單晶生長爐設(shè)備有兩大系列三個品種,具有自主知識產(chǎn)權(quán)。生產(chǎn)的單晶硅生長爐(TDR85/95/105-JN)、單晶硅生長爐(TDR85/95/105-JN)國外以美國KAYEX為代表,生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上大,的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場,已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關(guān)機(jī)的全過程由計(jì)算機(jī)實(shí)行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。