現(xiàn)階段,硬脆材料切割技術主要有外圓切割、內(nèi)圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡單,但據(jù)片剛性差,切割全過程中鋸片易方向跑偏.造成被切割工們的平面度差;而內(nèi)圓切割只有進行直線切割,沒法進行斜面切割。線鋸切割技術具備割縫窄、率、切成片、可進行曲線圖切別等優(yōu)點成為口前普遍選用的切割技術。
當切片機有穩(wěn)定的冷卻劑流量和所有其它參數(shù)都受控制時,維持一個穩(wěn)定的扭矩。如果記錄,從穩(wěn)定扭矩的任何偏離都是由于不受控的因素。這些包括由于噴嘴堵塞的冷卻劑流量變化、噴嘴調(diào)整的變化、刀片對刀片的變化、刀片情況和操作員錯誤。
隨著信息化時代的到來,我國電子信息、通訊和半導體集成電路等行業(yè)迅猛發(fā)展,我國已經(jīng)成為世界二極管晶圓、可控硅晶圓等集成電路各種半導體晶圓制造大國。傳統(tǒng)的旋轉砂輪式晶圓切割技術在實際生產(chǎn)中受到工藝極限的影響,晶圓加工存在機械應力、崩裂、加工效率低、成品率低的情況,的限制了晶圓制造水平的發(fā)展。傳統(tǒng)晶圓切割手段已經(jīng)無法滿足晶圓產(chǎn)品率、生產(chǎn)需求。因此,旋轉砂輪式切割工藝所伴隨的問題是無法通過工藝本身的優(yōu)化來完全解決的,亟需采取新的加工方式解決晶圓切割劃片的瓶頸;現(xiàn)有劃片機自動化程度及功能都很難滿足電子器件生產(chǎn)的可靠性和技術性能要求。