深圳GSI鉭鈮礦檢測(cè)技術(shù)有限公司擁有大型的實(shí)驗(yàn)室,配備精良的測(cè)試儀器,與華南地區(qū)各實(shí)驗(yàn)室存在廣泛的合作關(guān)系。我們致力于以能力為客戶搭建一條、快速、優(yōu)惠的檢測(cè)認(rèn)證通道;幫助客戶減少開發(fā)風(fēng)險(xiǎn)、縮短產(chǎn)品研發(fā)周期、降低產(chǎn)品成本;及時(shí)獲得各國(guó)市場(chǎng)的準(zhǔn)入證。
一定工作壓力下,制備的氮化鉭薄膜硬度高達(dá)4000kg/mm2以上。本文探討了氮化鉭薄膜高硬度的原因,并且討論了隨氮分壓的提高薄膜織構(gòu)變化的原因
研究表明,影響氮化鉭薄膜結(jié)合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度,氮分壓比、濺射電流為次要因素;氮分壓對(duì)氮化鉭薄膜的硬度影響較大
氮化鉭為黑色六方結(jié)晶。相對(duì)密度為13.4,熔點(diǎn)為3090℃,顯微硬度為1100kg/mm2,熱導(dǎo)率為9.54W/(m·K),電阻率為128μΩ·cm
氮化鉭為黃綠色結(jié)晶,屬型結(jié)晶,相對(duì)密度為15.6。晶格常數(shù)為a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔點(diǎn)為2950℃,顯微硬度為3200kg/mm2,轉(zhuǎn)化點(diǎn)溫度為17.8K。
用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕