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大直徑硅單晶的制備與數(shù)值分析\大直徑硅單晶是微電子工業(yè)的基礎材料,廣泛應用于集成電路備件和硅片制造領域,是現(xiàn)今信息社會的基石。根據(jù)半導體設備材料產業(yè)協(xié)會(SEMI)的報告,大直徑硅單晶的需求依然旺盛,450mm硅單晶要繼續(xù)開發(fā)研究。當前主流集成電路設備用部件急需400mm硅單晶并提出低成本的要求,開發(fā)400mm硅單晶和研究晶體制備的工藝過程,無疑具有重要的理論意義和現(xiàn)實需求。同時,開發(fā)下一代450mm集成電路用硅晶體、研究外加磁場對改善晶體質量的作用,對于我國未來制造450mm硅片具有重要的戰(zhàn)略意義。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，具體實施方式為了使本發(fā)明的內容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結合附圖，對本發(fā)明作進一步詳細的說明，一種連續(xù)拉晶單晶爐，它包括括底座1、主爐室2、副爐室3、下驅動裝置4和上驅動裝置5，所述主爐室2和下驅動裝置4均安裝在底座1上，所述主爐室2內設置有爐室坩堝21，所述下驅動裝置4和主爐室坩堝21相連，以便通過下驅動裝置4驅動主爐室坩堝21升降，所述副爐室3和主爐室2相連通，所述上驅動裝置5安裝在副爐室3的上端，以便通過上驅動裝置5驅動拉晶，其特征在于，它還包括：外部加料器6，所述外部加料器6內設置有加料腔61，所述加料腔61內設置有加料坩堝62，所述外部加料器6的蓋裝有上蓋63；

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而石墨加熱器作為加熱系統(tǒng)的核心部件,通過自身發(fā)熱作為整個熱場的熱量來源,因此也是整個熱場中為核心的部件。而加熱器的設計需要綜合考慮熱學、力學、電學、機械等各個領域內的知識,比較復雜,因此很多使用的加熱器都存在種種先天缺陷,造成使用時發(fā)熱不足、打火、變形過大、壽命過短等問題。下文將從加熱器的使用要求入手,分析加熱器的設計。2加熱器的工作原理與使用要求