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常見(jiàn)問(wèn)題
制備五氧化二鉭薄膜并研究其性能,有很強(qiáng)的實(shí)用價(jià)值,已引起人們的密切關(guān)注。Ta2O5(氧化鉭)薄膜的光譜透過(guò)波段為0.3~10um,是可見(jiàn)光到近紅外波段重要的高折射率材料之一。鉭磁控濺射靶材所具有的特性,使它的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣闊
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