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江蘇浦口真空泵回收江蘇浦口單晶爐回收

更新時(shí)間:2025-09-30 [舉報(bào)]
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提拉式單晶爐特點(diǎn)籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實(shí)現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時(shí)的系統(tǒng)平穩(wěn)性;籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件,無泄露,長(zhǎng)期使用不需充磁;精密花鍵軸及各驅(qū)動(dòng)直流伺服電機(jī)均為進(jìn)口件,確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動(dòng)平衡測(cè)試,高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動(dòng)小于2mm,適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動(dòng)直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計(jì),確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長(zhǎng)期平穩(wěn)運(yùn)行。浮動(dòng)式翻板閥設(shè)在主副爐室之間,可在熱場(chǎng)維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。
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電氣特點(diǎn)(1)本系統(tǒng)采用PLC,工業(yè)彩色觸摸屏,因此系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,具有用電省, 發(fā)熱小的特點(diǎn)。系統(tǒng)可靠性很高,不會(huì)死機(jī)。同時(shí)觸摸屏和PLC間工作,連接僅僅使用1根通訊線即可。(2) 控制軟件、系統(tǒng)能按照工藝員寫入的工藝文件,進(jìn)行半自動(dòng)拉晶,可以在顯示器上修改,立即生效,操作方便。自動(dòng)工藝可以單步執(zhí)行也可以連續(xù)自動(dòng)流程。在溫度閉環(huán)上增加功率限制,信號(hào)故障判斷診斷功能,可以排除觀察孔污染,信號(hào)被干擾,加熱電源故障,加熱器短路,加熱器電阻突變,人工輸入失誤等錯(cuò)誤。(3) 工作站監(jiān)控系統(tǒng)、本系統(tǒng)還配置有工作站監(jiān)控系統(tǒng),用一臺(tái)PC機(jī)可同時(shí)監(jiān)控8臺(tái)單晶爐,采用RS422高速通訊,光電隔離,可靠性高。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,在本實(shí)施例中,所述副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)一致,所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過程中,因晶棒掉落而出現(xiàn)事故,連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托,所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動(dòng)推桿152、接晶托電機(jī)154和固定管151,所述電動(dòng)推桿152連接在副爐室旋臂14上,所述提升桿連接在電動(dòng)推桿152的推桿上,以便通過推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降,所述接晶托電機(jī)154連接在提升桿上,所述托板153連接在接晶托電機(jī)154的輸出軸上,以便通過接晶托電機(jī)154驅(qū)動(dòng)托板153旋轉(zhuǎn),所述固定管151套裝在提升桿和電動(dòng)推桿152的推桿的外側(cè),所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。

標(biāo)簽:單晶爐回收
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