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浙江淳安整流柜回收浙江淳安藍(lán)寶石單晶爐回收

更新時(shí)間:2025-09-26 [舉報(bào)]
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單晶爐真空系統(tǒng)的除塵技術(shù)/單晶爐是單晶體生長設(shè)備。單晶體生長要求在真空和惰性氣體中進(jìn)行。真空裝置應(yīng)能保爐體內(nèi)熱真空度達(dá)5×1024mm 柱以上。如果使用惰性氣體作保護(hù)氣氛,爐體上、下都設(shè)有進(jìn)出氣的氣口。生長單晶體時(shí),抽真空及真空裝置注入惰性氣體后都需配備除塵裝置。西安理工大學(xué)工廠生產(chǎn)的混合式除塵器較好地解決了這一問題。本廠單晶爐系列:TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多種爐型近百臺產(chǎn)品都使用這種除塵器。實(shí)踐明,它的主要優(yōu)點(diǎn)是除塵,能適應(yīng)不同抽氣階段真空度的要求,容塵量大。其具體結(jié)構(gòu)見圖2、圖3。該除塵器綜合運(yùn)用離心力、慣性碰撞、接觸阻留、擴(kuò)散這幾種除塵機(jī)理。
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進(jìn)一步為了防止在副爐室移動到取晶位的過程中,因晶棒掉落而出現(xiàn)事故,連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托,所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板、電動推桿、接晶托電機(jī)和固定管,所述電動推桿連接在副爐室旋臂上,所述提升桿連接在電動推桿的推桿上,以便通過推桿的升降帶動提升桿升降,所述接晶托電機(jī)連接在提升桿上,所述托板連接在接晶托電機(jī)的輸出軸上,以便通過接晶托電機(jī)驅(qū)動托板旋轉(zhuǎn),所述固定管套裝在提升桿和電動推桿的推桿的外側(cè),所述固定管連接在副爐室旋臂上。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,(4) 電氣硬件設(shè)置、本系統(tǒng)的電氣柜內(nèi)布局采用模塊化集中管理,各個(gè)模塊間連接簡單,單個(gè)模塊可以帶電維修,電機(jī)保護(hù)采用空氣開關(guān)和絲結(jié)合的方法便于操作和維護(hù)。同時(shí)主要的電氣點(diǎn)都能簡單的在端子板上查出。整個(gè)機(jī)箱布局合理,簡單。同時(shí)帶有雙色聲光報(bào)*燈進(jìn)行提示。

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