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加熱元件采用硅碳棒,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,保溫性能好,,拉伸強度高,大大提高了使用壽命;2、可抽真空,并能通入多種保護氣氛(易、強腐蝕性氣體除外);3、超壓自動泄壓,超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠;4、我們的軟件設(shè)備通過485或USB接口與計算機互聯(lián),可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;可安裝無紙記錄裝置,實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出;5、可選配通過觸摸屏操作的方式對真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)進行程序控制,操作簡單方便,無誤。
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提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成\副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成\ 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成\爐筒:包括取光孔\下爐筒:包括抽真空管道\底座機架:全鑄鐵機架和底座\坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成\分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等\管道布置:質(zhì)量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等\電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,浮力提拉單晶爐提拉機構(gòu)特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡稱FTD)是利用浮力原理設(shè)計成的提拉式單晶爐帕,十多年來,用它先后生長成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國內(nèi)已有幾個廠家使用它生產(chǎn)泥酸鏗單晶。作為一種發(fā)明,FTD也受到肯定和重視??墒?FTD在問世以后,卻沒有進行深入探討。雖然FTD的設(shè)計有過幾次變化,但由于沒有掌握設(shè)計的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現(xiàn)象,嚴(yán)重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對多臺FTD作了分析對比,由此找出了提拉不均勻性產(chǎn)生的根源;明確了FTD提拉機構(gòu)的設(shè)計要領(lǐng)。希望這-一卜作能夠推動FTD的發(fā)展.并有助于單晶的生長研究和生產(chǎn)。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產(chǎn)生習(xí)C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。}