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更新時間:2025-09-29 [舉報]
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提拉式單晶爐技術(shù)參數(shù)1、電源電壓:380VAC±5%2、電源頻率:50HZ 3、電源相數(shù):3相3線制4、變壓器容量:190KVA5、加熱器加熱功率:160KW6、加熱溫度:1600℃7、加熱器加熱電壓:60V8、冷爐極限真空度:<a9、晶體直徑:¢6〞~¢8〞10、熔料量 :90Kg11、主爐室尺寸:φ900×1250mm上爐室尺寸:φ900×900mm下爐室尺寸:φ900×350mm12、翻板閥通徑:φ280mm13、封頭爐蓋高度:410mm14、副爐室尺寸:φ280×250015、籽晶轉(zhuǎn)速范圍:1~40rpm16、籽晶拉速范圍:0.2~8mm/min17、籽晶快速:≥350mm/min18、籽晶在爐內(nèi)有效行程:3500mm19、籽晶在副室內(nèi)有效行程:2100mm20、坩堝升速范圍:0.02~1mm/min21、坩堝快速:≥100mm/min22、坩堝在爐內(nèi)有效行程:400mm23、坩堝轉(zhuǎn)速范圍:1~30rpm24、兩個電極孔孔距:480mm 25、耗水量:25m3/h26、主機占地面積:2500x2000mm27、主機高度:6800mm28、主機重量:約7500Kg藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,所述氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔與該爐的石墨中軸活動密封連接,以防止 因該中軸孔與石墨中軸之間的間隙而漏氣,影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置的電極孔分別與該爐的電極柱密封連接,以防止因 該電極孔與電極柱之間的間隙而漏氣,影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒密封連接,以防止 因氣流導(dǎo)向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒之間的間隙而漏氣,影響 排氣效果所述氣流導(dǎo)向裝置各通氣孔與該爐的排氣口通過通氣管相連通,以提 高排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置由石墨制成,石墨具有強度高、抗熱震性好、耐高 溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機加工等優(yōu)點。本發(fā)明具有積極的效果(1)
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