鉑銠絲回收,微流控芯片回收微電子器件中的鉑銠
針對芯片封裝金-鉑銠鍵合線的回收:
芯片設(shè)計(jì):
微通道寬度200μm,深100μm
集成電化學(xué)檢測電極
工藝流程:
王水微流控溶解(流速5μL/min)
電沉積回收(效率>99%)
廢液在線凈化(活性炭纖維吸附)
技術(shù)指標(biāo):
單芯片處理能力:100條鍵合線/小時(shí)
鉑回收純度:99.99%
臺積電(TSMC)測試表明,該技術(shù)回收1kg鉑的成本較傳統(tǒng)方法降低60%。
鉑銠絲回收,機(jī)械-物理聯(lián)合預(yù)處理工藝
鉑銠絲常與陶瓷、玻璃或塑料復(fù)合存在,分離是回收的前提。創(chuàng)新預(yù)處理工藝組合包括:
步驟一:低溫破碎
采用液氮(-196°C)冷凍脆化處理,使非金屬基體與鉑銠絲的粘結(jié)強(qiáng)度降低90%;
雙輥破碎機(jī)(間隙0.5mm)將物料粉碎至<3mm,貴金屬留存率>99.5%;
步驟二:渦電流分選
利用交變磁場(頻率200Hz)使導(dǎo)電的鉑銠絲產(chǎn)生排斥力,與非金屬分離;
加拿大Bunting公司設(shè)計(jì)的ECS-200系統(tǒng),處理量3噸/小時(shí),金屬回收率98%;
步驟三:靜電分選
在20kV高壓電場中,鉑銠絲因?qū)щ娦粤己醚杆俜烹?,與殘余塑料分離;
日本Nippon Magnetics的設(shè)備可使終貴金屬富集體純度達(dá)99.8%。
瑞士Umicore工廠采用該工藝組合后,預(yù)處理成本從120美元/噸降至45美元/噸,且避免傳統(tǒng)酸洗產(chǎn)生的含氟廢水(來自玻璃溶解)。
鉑銠絲回收,離心萃取技術(shù)分離鉑與銠
鉑銠分離是回收過程的難點(diǎn),傳統(tǒng)離子交換法周期長(>48小時(shí))。中國恩菲工程公司開發(fā)的三級離心萃取系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)突破:
工藝流程:
王水溶解:將鉑銠合金溶于逆王水(HCl:HNO?=3:1),形成H?PtCl?和H?RhCl?;
初級萃?。菏褂枚粱蛎眩―OS)在離心機(jī)(轉(zhuǎn)速3000rpm)中萃取鉑,單級萃取率>99%;
銠富集:剩余水相用TBP(磷酸三丁酯)萃取殘余鉑,銠留存水相;
反萃回收:NaOH溶液(2mol/L)反萃鉑,NH?Cl沉淀銠。
技術(shù)指標(biāo):
鉑銠分離系數(shù)(βPt/Rh)達(dá)10?,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)工藝的103;
全過程耗時(shí)<4小時(shí),試劑消耗降低70%;
產(chǎn)品純度:鉑>99.95%,銠>99.9%。
該技術(shù)已應(yīng)用于江西銅業(yè)的鉑銠回收生產(chǎn)線,年處理能力200噸,使銠的回收成本從800美元/盎司降至350美元/盎司。2023年獲得中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)。