X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時，將可能出問題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對這三部分逐一檢查以縮小范圍。樣品室常見的漏氣部位是樣品自轉(zhuǎn)裝置上的密封圈，樣品測量時通常以0.5轉(zhuǎn)/秒的速度自轉(zhuǎn)，儀器幾年運行下來，樣品自轉(zhuǎn)處的密封圈磨損，密封效果變差。

流氣計數(shù)器窗膜由一塊聚酯薄膜、hostaphan膜或聚丙烯薄膜鍍上一層很薄(約30nm)的鋁膜所構(gòu)成，由于窗膜承受大氣壓力，一段時間后隨著基體材料的延展，鋁膜可能產(chǎn)生裂紋，從而減弱導(dǎo)電性能，這種情況對脈沖高度分布影響不大，但會使計數(shù)率不穩(wěn)定。新型號的X射線熒光光譜儀一般都安裝1μm甚至0.6μm的窗膜，而不再使用6μm的窗膜，因此流氣計數(shù)器的窗膜導(dǎo)電性能下降的可能性增大。

高分辨率高度的檢測方式讓我國現(xiàn)今許多產(chǎn)品的檢驗擁有了更好的效果，而光譜儀器本身的分辨能力和精細的光譜辨析效果也為后續(xù)的測量質(zhì)量帶來了更好的品質(zhì)，這種光譜儀裝置其本身的檢測效果要表現(xiàn)出穩(wěn)定的質(zhì)量，規(guī)避相應(yīng)的影響因素才能夠表現(xiàn)出更好的價值。