浙江諸暨直拉式單晶爐回收 浙江諸暨控制屏回收
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在該爐工作前，由設(shè)于排氣口 13上的真空泵將爐內(nèi)空氣排盡，然后從 該爐上端充入。工作時(shí)，爐內(nèi)的石英坩堝上方不斷有一氧化硅和粉塵 雜質(zhì)生成，因此在不斷充入的同時(shí)，所述真空泵同時(shí)將一氧化硅、粉 塵雜質(zhì)與等的混合氣體排出，其中，氣體的流動(dòng)過(guò)程為從石英坩堝上 方經(jīng)坩堝支持器14與發(fā)熱體16之間的間隙，以及發(fā)熱體16與保溫筒17 之間的間隙流入氣流導(dǎo)向裝置20,然后經(jīng)圖6中的氣流導(dǎo)向裝置20的一對(duì) 通氣孔2-3、通氣管19從排氣口 13排出。本實(shí)施例的氣流導(dǎo)向裝置20可有效減小爐內(nèi)空間(尤其是坩堝支持器 14下方的空間)，便于排氣，且利于減少熱能和的消耗量；另外，藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，在本實(shí)施例中，所述副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)一致，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過(guò)程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過(guò)程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托，所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動(dòng)推桿152、接晶托電機(jī)154和固定管151，所述電動(dòng)推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動(dòng)推桿152的推桿上，以便通過(guò)推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降，所述接晶托電機(jī)154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機(jī)154的輸出軸上，以便通過(guò)接晶托電機(jī)154驅(qū)動(dòng)托板153旋轉(zhuǎn)，所述固定管151套裝在提升桿和電動(dòng)推桿152的推桿的外側(cè)，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。

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進(jìn)一步為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并方便外部化料器的移動(dòng)、拆解和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和化料器旋臂，所述底座上設(shè)置有立柱，所述化料器旋臂鉸接在立柱上，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置連接在化料器旋臂上，所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便在不繼續(xù)加料時(shí)，通過(guò)化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置；和化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步提供了一種化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐桿、絲杠、電機(jī)和連接塊，所述支撐桿連接在化料器旋臂上，所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上，所述電機(jī)連接在絲杠上，所述連接塊通過(guò)螺紋連接在絲杠上，所述外部化料器連接在連接塊上，以便通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運(yùn)動(dòng)，并通過(guò)所述連接塊帶動(dòng)外部化料器升降。