Gemini 物鏡的設計結(jié)合了靜電場與磁場, 在提升光學性能的同時將它們對樣品的影 響降至低。因此,即便是要求苛刻的樣 品 —— 如磁性材料,也能進行成像。 在 Gemini 鏡筒設計理念中, Inlens 用二次 電子( SE ) 和背散射電子( BSE ) 探測器來 確保的信號檢測。
充分發(fā)揮 Gemini 2 型光學系統(tǒng)的性能優(yōu)勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學系統(tǒng)主要運用了雙聚光鏡, 在獲得理想的小電子束斑同時可連續(xù)調(diào)節(jié)束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外, 您也可以在不同的成像模式之間進行無縫切 換或更改成像參數(shù)。此操作簡便快速,因為 在更改成像參數(shù)后無需進行校準,而且經(jīng)調(diào) 校的掃描電鏡可以保持穩(wěn)定地工作。
智能自動光路調(diào)節(jié)( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結(jié)合,新的智能自動光 路調(diào)節(jié)讓您受益于以下特點:
? 通過聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束 會聚角,在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。
全套探測系統(tǒng): 根據(jù)出射能量和出射角選 擇性地探測樣品的電子
GeminiSEM 系列的全套探測系統(tǒng)有大量不同 的探測器可供選配。通過組合 EsB (能量選 擇背散射) 探測器、 Inlens 二次電子探測器 及 AsB (角度選擇背散射) 探測器獲取樣品 材料、表面形貌或結(jié)晶度的信息。入射電子 與樣品作用后可產(chǎn)生二次電子( SE ) 和背散 射電子( BSE )。從納米級樣品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次電子可用來表征樣 品的表面形貌。這些二次電子可通過特設 計的電子束推進器向后加速進入鏡筒,并經(jīng) Gemini 物鏡投射到環(huán)形 Inlens 二次電子探測 器里。 GeminiSEM 可根據(jù)樣品的表面條件在 寬角度范圍內(nèi)探測二次電子。
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在工業(yè)質(zhì)量、失效分析或研究環(huán)境中,由于掃描電子顯微鏡 可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學信息,所以它
是金相學和失效分析應用的理想之選。