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其中,直接有效的方法是提高生產(chǎn)時(shí)效,增加單爐的月產(chǎn)能。筆者長期從事單晶生產(chǎn)工作,經(jīng)調(diào)研與現(xiàn)場試驗(yàn),采用離線裝料技術(shù)不僅可以縮短運(yùn)行周期、提高工作效率,而且可以確保坩堝內(nèi)所裝硅料的潔凈度,具有較強(qiáng)的實(shí)用性和經(jīng)濟(jì)推廣價(jià)值。1離線裝料的工作原理使用一個(gè)真空吸盤和一個(gè)特制的密封圈與裝滿多晶硅原生料的石英坩堝密封,分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,提拉頭:主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒:包括取光孔、下爐筒:包括抽真空管道、底座機(jī)架:全鑄鐵機(jī)架和底座? 坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進(jìn)水水管,若干膠管 水管卡套等、管道布置:質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜:電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、