半導(dǎo)體拋光樹(shù)脂是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的材料，主要用于拋光半導(dǎo)體晶圓的表面。它能夠去除晶圓表面的缺陷、氧化層以及其他污染物，使晶圓表面變得平滑，以提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。 半導(dǎo)體拋光樹(shù)脂通常由有機(jī)聚合物、磨料和添加劑組成。有機(jī)聚合物作為基礎(chǔ)材料，能夠提供樹(shù)脂的粘結(jié)性和拋光性能；磨料則起到研磨晶圓表面的作用，常見(jiàn)的磨料有二氧化硅、氧化鋁等；添加劑則用于調(diào)節(jié)樹(shù)脂的黏度、pH值等特性，以及提供一定的抗氧化性能。 在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，半導(dǎo)體拋光樹(shù)脂通常通過(guò)機(jī)械拋光的方式應(yīng)用于晶圓表面。晶圓被放置在旋轉(zhuǎn)盤上，樹(shù)脂涂敷在晶圓表面，然后通過(guò)旋轉(zhuǎn)盤和拋光墊的摩擦作用，使樹(shù)脂中的磨料研磨晶圓表面，達(dá)到平滑和去除缺陷的效果。 半導(dǎo)體拋光樹(shù)脂具有良好的拋光性能、穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)和可靠的機(jī)械性能，可以滿足半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)晶圓表面質(zhì)量的要求。同時(shí)，它還能夠減少晶圓表面的殘留污染物，提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性，因此在半導(dǎo)體制造工藝中得到了廣泛應(yīng)用。

蒸餾水就是加熱成氣體又冷凝的水,有時(shí)候也是純化水的一個(gè)通稱.
去離子水就是通過(guò)離子柱吸附除去了大部分離子如鈉、鎂等的水,純度沒(méi)有蒸餾水高.
高純水比去離子水純度更高,是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機(jī)物均去除至很低程度的水.
超純水比高純水純度更高,既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水.
后三種都主要是通過(guò)過(guò)濾、吸附、膜滲透等方法得到,理論上不如蒸餾水純度高.但通過(guò)蒸汽來(lái)制純水效率很低,而且超純水的純度已經(jīng)足夠做常見(jiàn)的事情.
采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。 超純水機(jī)又稱做：超純水器，超純水設(shè)備，超純水儀，超純水系統(tǒng)，實(shí)驗(yàn)室超純水器等。 超純水機(jī)所生產(chǎn)的超純水電阻率一般應(yīng)大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。超純水出水能達(dá)到18.25兆歐。

滲透/電去離子（RO/EDI）集成膜技術(shù)是近年來(lái)迅速發(fā)展成熟，并得到大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用的新一代超純水制造技術(shù)，在國(guó)際上已逐漸成為純水技術(shù)的主流。RO/EDI的集成膜技術(shù)在電子企業(yè)用水，實(shí)驗(yàn)室純水系統(tǒng)，電廠用水等方面具有特的優(yōu)勢(shì)。