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為現(xiàn)有技術(shù)的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長(zhǎng) 爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構(gòu)示意圖3為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的氣流導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖7為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的另一剖面結(jié)構(gòu)示意圖。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,為了使拖板92更平穩(wěn)地升降,所述立柱10和拖板92之間還設(shè)置有用于導(dǎo)向拖板92的升降的導(dǎo)向裝置,所述導(dǎo)向裝置包括設(shè)置在立柱10上的導(dǎo)軌101和設(shè)置在拖板92上的滑塊,所述拖板92通過滑塊與導(dǎo)軌101的配合滑配在立柱10上。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料,所述升降絲桿91的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95,所述防塵罩95為波紋防塵罩。所述加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2內(nèi)的零部件,所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)111、旋轉(zhuǎn)絲桿112、旋轉(zhuǎn)套113和固定座114,所述旋轉(zhuǎn)套113鉸接在拖板92上,所述旋轉(zhuǎn)絲桿112可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座114上,所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)111安裝在固定座114上,所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的一端部和旋轉(zhuǎn)電機(jī)111的輸出軸相連接,所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的另一端部和旋轉(zhuǎn)套113通過螺紋連接,所述加料器旋臂8鉸接在拖板92上,以便通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)111驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)絲桿112在旋轉(zhuǎn)套113內(nèi)旋進(jìn)旋出,使得固定座114產(chǎn)生位移,并使固定座114帶動(dòng)加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)。具體地,為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料,所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95,所述防塵罩95為波紋防塵罩。