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一個(gè)光纖與工作室相連接，用以傳輸一光學(xué)信號(hào)穿過工作液。一個(gè)第二光纖與工作室相連接，用以接收由光纖傳出的光學(xué)信號(hào)。一個(gè)電信號(hào)建立裝置，在光信號(hào)從光纖傳出，穿過未被污染的工作液到達(dá)第二光纖時(shí)，建立電信號(hào)。此電信號(hào)建立裝置，在光信號(hào)從光纖傳出，穿過被污染了的工作液到達(dá)第二光纖時(shí)，建立第二電信號(hào)。當(dāng)?shù)诙娦盘?hào)被建立時(shí)，據(jù)此，污染材料穿過隔膜進(jìn)入工作室的泄漏問題可被檢測(cè)到。隔膜泵設(shè)備系統(tǒng)是由一個(gè)或多個(gè)雙側(cè)泵組成，一個(gè)氣動(dòng)雙隔膜泵。潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過濾器效率的提高等，對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實(shí)踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進(jìn)，對(duì)是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關(guān)注。以下對(duì)這些問題的情況分別作歸納和分析。
