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為現(xiàn)有技術(shù)的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長 爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構(gòu)示意圖3為實(shí)施例1中直拉式單晶生長爐的氣流導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實(shí)施例1中直拉式單晶生長爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖7為實(shí)施例1中直拉式單晶生長爐的另一剖面結(jié)構(gòu)示意圖。藍(lán)寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,直拉式單晶爐設(shè)備回類、二手單晶爐設(shè)備、單晶硅爐、整流柜、補(bǔ)償柜回收、電力柜回收、整流柜回收、電源柜回收、高頻電爐、中頻電爐、電爐感應(yīng)爐、單晶爐、單晶硅爐、電力鍋爐、中頻爐回收、高風(fēng)爐回收、井式爐回收、熔鋁爐回收、熔銅爐回收、主要產(chǎn)品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。單晶硅生長爐行業(yè),主要產(chǎn)品有TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR8-ZJS、TDR9-ZJS、TDR112A-ZJS。

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采用了上述技術(shù)方案后,本發(fā)明具有以下有益效果:、取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝,蓋上外部加料器的上蓋,將外部加料器真空抽到合適壓力值時打開旋閥,硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝,當(dāng)外部化料器中的硅料加完后,再關(guān)閉旋閥,把外部加料器充常壓,打開外部加料器的上蓋繼續(xù)加料,如此循環(huán),進(jìn)而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進(jìn)而提高生產(chǎn)效率;、