一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風干燥箱，在加溫工作的同時充入氮氣，適用高溫易氧化產(chǎn)品烘烤，可滿足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關單位作生產(chǎn)烘實驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內(nèi)造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產(chǎn)品質量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內(nèi)溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內(nèi)部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內(nèi)部循環(huán)熱風經(jīng)高溫空氣過濾器反復過濾，了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運風系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產(chǎn)品放置烘箱內(nèi)
(3)開啟電源開關并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時間。( 4)開啟鼓風開關，開啟加熱開關，開始工作
2.無塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開加工區(qū)

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

溫度設置1、設置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時關閉電源并聯(lián)系儀器負責人；3、操作人員需待實際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時間關閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

無塵潔凈烤箱內(nèi)外應經(jīng)常保持清潔，長期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內(nèi)，高溫狀態(tài)下禁止打開箱門，加熱過程中務必風機是正常運轉，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法，操作方法及保養(yǎng)知識。

按動“加熱”開關（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進入正常工作，根據(jù)工藝要求設定溫度，當臺車烘箱溫度上升接近設定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結束后應立即關閉電源開關，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口，調節(jié)進氣口大小可調節(jié)烘箱的進氣量，其進氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實際情況合理調節(jié)進排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當無塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時打開進氣門，以利于水分排出。

無塵烤箱是一種用于制造、低污染的產(chǎn)品的設備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預防材料在烤箱內(nèi)變質。在過去，制作特定產(chǎn)品時，在低溫下烘烤，因此產(chǎn)生的灰塵量很大。通過使用無塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產(chǎn)品的質量和潔凈度。