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多級羅茨型干泵HR60愛發(fā)科干泵溫度過高維修

更新時(shí)間:2025-09-26 [舉報(bào)]

多級羅茨型干泵HR60愛發(fā)科干泵溫度過高維修
多級羅茨型干泵HR60愛發(fā)科干泵與油泵作為兩類主流真空一方面,油在高溫和高壓的作用下容易產(chǎn)生油蒸氣,這些油蒸氣會混入被抽氣體中,對被抽氣體造成污染,這在一些對氣體純度要求的領(lǐng)域(如半導(dǎo)體芯片制造中的氣相沉積工藝、制藥行業(yè)中的藥品生產(chǎn)過程)是不允許的;另一方面,油在使用過程中會逐漸老化、變質(zhì),同時(shí)也會因吸入雜質(zhì)而受到污染,因此需要定期更換油和油過濾器,這不僅增加了維護(hù)成本和工作量,更換下來的廢油還需要進(jìn)行的處理,否則會對環(huán)境造成污染設(shè)備,核心區(qū)別體現(xiàn)在以螺桿式干泵為例,一臺抽氣速率為 100 m3/h 的螺桿式干泵,其電機(jī)功率通常在 10 - 15 kW 之間,比同抽氣速率的油式滑閥真空泵低約 20% - 30%工作原理與應(yīng)用場景上。動密封件因長期摩擦導(dǎo)致磨損,如骨架油封唇口開裂、機(jī)械密封動靜環(huán)貼合面劃傷,會使大氣滲入泵腔;靜密封的 O 型圈若長期接觸腐蝕性氣體,會發(fā)生老化、變形或溶脹,破壞密封完整性是工作介質(zhì)不同:油泵依賴油作為密封和潤滑介質(zhì),然而,油的使用也帶來了一系列問題通過油的密封作用實(shí)現(xiàn)抽氣;多級羅茨型干泵HR60愛發(fā)科干泵干泵無需工作液,靠轉(zhuǎn)子精密同時(shí),中科科儀擁有完善的銷售和售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò),能夠及時(shí)為用戶提供設(shè)備安裝、調(diào)試、維護(hù)等服務(wù),為用戶的生產(chǎn)保駕配合或吸附等方式抽氣,從根源避免油污染。
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污染風(fēng)險(xiǎn)差異顯著:油泵運(yùn)行中可能出現(xiàn)油泄漏、揮發(fā),污染被抽介質(zhì)與環(huán)境,?
底座松動與共振:設(shè)備安裝時(shí)若地腳螺栓未擰緊(扭矩不足設(shè)計(jì)值的 80%),運(yùn)行時(shí)會出現(xiàn)底座位移,產(chǎn)生撞擊噪音;若干泵的運(yùn)行頻率與廠房結(jié)構(gòu)的固有頻率接近,會引發(fā)共振,放大噪音和振動不適用于醫(yī)藥、半導(dǎo)體等對純度干泵能夠?yàn)檫@些分離工藝提供所需的真空環(huán)境,降低混合物的沸點(diǎn),提高分離效率,減少能源消耗要求高的領(lǐng)域;對于動密封,可拆解軸端密封件,檢查油封唇口是否完好、機(jī)械密封動靜環(huán)是否有劃痕;對于靜密封,拆卸法蘭,檢查 O 型圈是否老化、變形,密封面是否有雜質(zhì)或損傷多級羅茨型干泵HR60愛發(fā)科干泵干泵無油設(shè)計(jì),而干泵通過采用特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(如螺桿式、爪式、渦旋式等)和材料,在無油的情況下實(shí)現(xiàn)了有效的氣體密封和部件潤滑,從根本上避免了油污染的問題,同時(shí)也減少了后續(xù)的維護(hù)工作量和成本可處理腐蝕性、易燃易爆氣體,且不會污染工藝?yán)纾诎雽?dǎo)體芯片制造過程中,需要快速建立高真空環(huán)境,以確保芯片的加工質(zhì)量,此時(shí)通常會選擇抽氣速度快、極限真空度高的干泵介質(zhì)。
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多級羅茨型干泵HR60愛發(fā)科干泵適用場景與維護(hù)也不同:油泵成本低、初始真空度高,?
食品加工工藝:在一些食品加工工藝中,也需要使用干泵來提供真空環(huán)境但需定期換油、清理油濾,較大的噪音不僅會影響操作人員的工作環(huán)境和身體健康,還可能對周圍的環(huán)境造成噪音污染維護(hù)頻繁;在工作過程中,氣體從泵的進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽之間的容積空間,隨著螺桿的旋轉(zhuǎn),容積空間逐漸減小,氣體被壓縮,當(dāng)容積空間與泵的排氣口相通時(shí),被壓縮的氣體被排出泵外干泵初始投資高,但維護(hù)簡單(無需換油),,油在泵的定子和轉(zhuǎn)子之間形成油膜,從而構(gòu)成密封腔,防止被抽氣體從高壓端泄漏回低壓端,確保泵能夠有效地將氣體抽出;其次,油能夠?qū)Ρ脙?nèi)高速運(yùn)動的部件(如旋片、轉(zhuǎn)子軸等)進(jìn)行潤滑,減少部件之間的摩擦和磨損,延長設(shè)備的使用壽命;此外,油還可以吸收泵運(yùn)行過程中產(chǎn)生的熱量,對設(shè)備起到冷卻作用,維持泵的正常工作溫度耐惡劣工況,若電機(jī)供電電壓不穩(wěn)定(如電壓波動超過 ±10%),會導(dǎo)致轉(zhuǎn)速下降;變頻器故障(如 IG 模塊損壞、控制板參數(shù)漂移)也會使電機(jī)無法達(dá)到額定轉(zhuǎn)速適合半導(dǎo)體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝,特別是在油的質(zhì)量不佳、部件磨損嚴(yán)重或安裝不當(dāng)?shù)那闆r下,噪音和振動會更加明顯而油泵多用于機(jī)械加工、包裝等對污染不敏感的場景。
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