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結(jié)合單晶爐提拉系統(tǒng)實(shí)際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了系統(tǒng)UG三維實(shí)體建模、動(dòng)平衡數(shù)學(xué)建模、計(jì)算以及提拉系統(tǒng)動(dòng)平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動(dòng)平衡分析、計(jì)算的結(jié)果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動(dòng)平衡效果是比較好的。隨后,針對(duì)某型號(hào)單晶爐提拉系統(tǒng)的實(shí)際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計(jì)算,三維軟件UG建模計(jì)算和該設(shè)備“以動(dòng)測(cè)靜”法的平衡實(shí)驗(yàn)

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因此，在向單晶爐內(nèi)不斷充入 的同時(shí)，還用真空泵將混合氣體排出爐外；在排氣時(shí)，混合氣體流經(jīng) 爐中的加熱器、坩堝支持器等處，后經(jīng)過(guò)爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內(nèi)空間較大，尤其是坩堝 支持器下方的空間較大，導(dǎo)致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時(shí)排出， 熱能消耗量較大；另外，現(xiàn)有技術(shù)中，從輸入管向爐內(nèi)充入時(shí)， 充氣氣壓為1. 3x 103pa，流量為40L/min,因此其消耗量大，生產(chǎn) 成本較高。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，直拉法，也叫切克勞斯基（J.Czochralski）方法。此法早在1917年由切克勞斯基建立的一種晶體生長(zhǎng)方法，用直拉法生長(zhǎng)單晶的設(shè)備和工藝比較簡(jiǎn)單，容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，生產(chǎn)，易于制備大直徑單晶，容易控制單晶中雜質(zhì)濃度，可以制備低電阻率單晶。據(jù)統(tǒng)計(jì)，世界上硅單晶的產(chǎn)量中70%～80%是用直拉法生產(chǎn)的。