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提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成\副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成\ 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成\爐筒:包括取光孔\下爐筒:包括抽真空管道\底座機架:全鑄鐵機架和底座\坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成\分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等\管道布置:質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等\電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,單晶硅生長爐的特點HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉動,便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設計,提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面,便于平臺下面設備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術,簡便干凈。全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設計,維護方便,可靠性高,抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選,??販鼐?。質量流量計控制流量。真空計結合電動蝶閥實時控制爐內(nèi)真空度。

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