充分發(fā)揮 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)的性能優(yōu)勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)主要運用了雙聚光鏡， 在獲得理想的小電子束斑同時可連續(xù)調(diào)節(jié)束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外， 您也可以在不同的成像模式之間進行無縫切 換或更改成像參數(shù)。此操作簡便快速，因為 在更改成像參數(shù)后無需進行校準(zhǔn)，而且經(jīng)調(diào) 校的掃描電鏡可以保持穩(wěn)定地工作。

Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領(lǐng)域 的苛刻任務(wù)而設(shè)計，它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達到高分 辨率。它由兩個協(xié)同工作的組件組成，即 Nano-twin 物鏡和智能自動光路調(diào)節(jié)—— 它 們組成一個全新的電子光學(xué)引擎。 BSE 的優(yōu) 勢也可以為您提供良好的圖像襯度，讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。

智能自動光路調(diào)節(jié)( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結(jié)合，新的智能自動光 路調(diào)節(jié)讓您受益于以下特點：
? 通過聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束 會聚角，在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。

全套探測系統(tǒng)： 根據(jù)出射能量和出射角選 擇性地探測樣品的電子
GeminiSEM 系列的全套探測系統(tǒng)有大量不同 的探測器可供選配。通過組合 EsB (能量選 擇背散射) 探測器、 Inlens 二次電子探測器 及 AsB (角度選擇背散射) 探測器獲取樣品 材料、表面形貌或結(jié)晶度的信息。入射電子 與樣品作用后可產(chǎn)生二次電子( SE ) 和背散 射電子( BSE )。從納米級樣品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次電子可用來表征樣 品的表面形貌。這些二次電子可通過特設(shè) 計的電子束推進器向后加速進入鏡筒，并經(jīng) Gemini 物鏡投射到環(huán)形 Inlens 二次電子探測 器里。 GeminiSEM 可根據(jù)樣品的表面條件在 寬角度范圍內(nèi)探測二次電子。

在工業(yè)質(zhì)量、失效分析或研究環(huán)境中，由于掃描電子顯微鏡 可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學(xué)信息，所以它
是金相學(xué)和失效分析應(yīng)用的理想之選。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結(jié)構(gòu)分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結(jié)構(gòu)表征,膜厚測量。
■ 半導(dǎo)體和微電子
表面缺陷定位和分析、發(fā)光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測量等。
■ 醫(yī)療器械檢測
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫(yī)學(xué)
金屬表面細(xì)胞生長研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細(xì)菌生長表征等。