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因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動(dòng)是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵點(diǎn)之一。在生產(chǎn)實(shí)際中發(fā)現(xiàn),某型號(hào)單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時(shí),提拉系統(tǒng)的軟軸會(huì)出現(xiàn)明顯的晃動(dòng),這個(gè)問題一直制約著晶體生長的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對(duì)單晶爐的提拉系統(tǒng)進(jìn)行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動(dòng)

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提拉頭：主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔、下爐筒：包括抽真空管道、底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)架和底座? 坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管 水管卡套等、管道布置：質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測(cè)器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜：電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，在本實(shí)施例中，所述副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)一致，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托，所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動(dòng)推桿152、接晶托電機(jī)154和固定管151，所述電動(dòng)推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動(dòng)推桿152的推桿上，以便通過推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降，所述接晶托電機(jī)154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機(jī)154的輸出軸上，以便通過接晶托電機(jī)154驅(qū)動(dòng)托板153旋轉(zhuǎn)，所述固定管151套裝在提升桿和電動(dòng)推桿152的推桿的外側(cè)，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。