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(4) 電氣硬件設(shè)置、本系統(tǒng)的電氣柜內(nèi)布局采用模塊化集中管理，各個模塊間連接簡單，單個模塊可以帶電維修，電機保護采用空氣開關(guān)和絲結(jié)合的方法便于操作和維護。同時主要的電氣點都能簡單的在端子板上查出。整個機箱布局合理，簡單。同時帶有雙色聲光報*燈進行提示。

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提拉頭：主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔、下爐筒：包括抽真空管道、底座機架：全鑄鐵機架和底座? 坩堝下傳動裝置：主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進水水管，若干膠管 水管卡套等、管道布置：質(zhì)量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜：電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶爐真空系統(tǒng)的除塵技術(shù)/單晶爐是單晶體生長設(shè)備。單晶體生長要求在真空和惰性氣體中進行。真空裝置應(yīng)能保爐體內(nèi)熱真空度達5×1024mm 柱以上。如果使用惰性氣體作保護氣氛，爐體上、下都設(shè)有進出氣的氣口。生長單晶體時，抽真空及真空裝置注入惰性氣體后都需配備除塵裝置。西安理工大學(xué)工廠生產(chǎn)的混合式除塵器較好地解決了這一問題。本廠單晶爐系列：TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多種爐型近百臺產(chǎn)品都使用這種除塵器。實踐明，它的主要優(yōu)點是除塵，能適應(yīng)不同抽氣階段真空度的要求，容塵量大。其具體結(jié)構(gòu)見圖2、圖3。該除塵器綜合運用離心力、慣性碰撞、接觸阻留、擴散這幾種除塵機理。