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結(jié)合單晶爐提拉系統(tǒng)實際結(jié)構(gòu),進行了系統(tǒng)UG三維實體建模、動平衡數(shù)學(xué)建模、計算以及提拉系統(tǒng)動平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動平衡分析、計算的結(jié)果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動平衡效果是比較好的。隨后,針對某型號單晶爐提拉系統(tǒng)的實際結(jié)構(gòu),進行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計算,三維軟件UG建模計算和該設(shè)備“以動測靜”法的平衡實驗藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進一步為了方便外部加料器的移動、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動外部加料器升降的加料器升降驅(qū)動裝置和用于驅(qū)動外部加料器旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，所述外部加料器通過加料器旋臂連接在加料器升降驅(qū)動裝置上，以便通過加料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動加料器旋臂升降，并通過加料器旋臂帶動外部加料器升降，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接在加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋臂之間，以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置隨加料器旋臂一起升降，并通過加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動加料器旋臂旋轉(zhuǎn)，加料器旋臂又帶動外部加料器旋轉(zhuǎn)。進一步提供了一種加料器升降驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述加料器升降驅(qū)動裝置包括升降絲桿、拖板和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，底座上設(shè)置有立柱，所述升降絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱上，所述拖板通過螺紋連接在升降絲桿上，所述加料器旋臂連接在拖板上，所述升降絲桿連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置上，以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動升降絲桿旋轉(zhuǎn)，進而將升降絲桿的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為加料器旋臂的升降運動。

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上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用，即可滿足轉(zhuǎn)動所需的扭矩，又可實現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺，操作方便簡潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設(shè)定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設(shè)計使晶體提拉速度提高20-30%。