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基于ANSYS軟軸型單晶爐提拉系統(tǒng)晃動(dòng)分析\人工晶體是太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展所需的核心原材料,單晶爐是制造人工晶體的設(shè)備,目前的單晶爐大部分采用軟軸提拉系統(tǒng)。由于受到液/固相變規(guī)律的制約,單晶爐在實(shí)際工作中要求提拉機(jī)構(gòu)既要做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),又要做上升運(yùn)動(dòng),同時(shí)還要保持速度穩(wěn)定,對中性好,不能出現(xiàn)蠕動(dòng)和擺動(dòng)。提拉系統(tǒng)的晃動(dòng)會引起生長瞬間微觀擴(kuò)散層的變化,造成有效分凝系數(shù)的變動(dòng),導(dǎo)致微觀摻雜劑濃度分布的徑向不均勻,引起對流情況不穩(wěn)定,導(dǎo)致生長時(shí)固液界面過冷度的變化,為枝晶生長提供條件[1],會嚴(yán)重地影響單晶體的內(nèi)在品質(zhì)。

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電氣特點(diǎn)(1)本系統(tǒng)采用PLC，工業(yè)彩色觸摸屏，因此系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，具有用電省, 發(fā)熱小的特點(diǎn)。系統(tǒng)可靠性很高，不會死機(jī)。同時(shí)觸摸屏和PLC間工作，連接僅僅使用1根通訊線即可。(2) 控制軟件、系統(tǒng)能按照工藝員寫入的工藝文件，進(jìn)行半自動(dòng)拉晶，可以在顯示器上修改，立即生效，操作方便。自動(dòng)工藝可以單步執(zhí)行也可以連續(xù)自動(dòng)流程。在溫度閉環(huán)上增加功率限制，信號故障判斷診斷功能，可以排除觀察孔污染，信號被干擾，加熱電源故障，加熱器短路，加熱器電阻突變，人工輸入失誤等錯(cuò)誤。(3) 工作站監(jiān)控系統(tǒng)、本系統(tǒng)還配置有工作站監(jiān)控系統(tǒng)，用一臺PC機(jī)可同時(shí)監(jiān)控8臺單晶爐，采用RS422高速通訊，光電隔離，可靠性高。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，TD-800型軟軸提拉型單晶爐，是根據(jù)用戶實(shí)際需求研發(fā)的新產(chǎn)品。是在流動(dòng)惰性氣體環(huán)境中，以石墨電阻加熱器，將硅半導(dǎo)體材料熔化，用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。它可以生產(chǎn)大規(guī)模太陽能電池、集成電路所需要的硅單晶。單晶爐主機(jī)系統(tǒng)包括：底座立柱、坩堝驅(qū)動(dòng)裝置、主爐室、翻板閥室，副爐室，籽晶提升與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、液壓驅(qū)動(dòng)裝置、真空系統(tǒng)，充氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。爐室結(jié)構(gòu)為頂升式，主爐室和副爐室開啟時(shí)由液壓傳動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)上移。爐室和副爐室之間，設(shè)有浮動(dòng)式翻板閥室，可在現(xiàn)場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。