聚四氟乙烯，英文縮寫為PTFE，俗稱"塑料王"，、是一種使用了氟取代聚乙烯中所有氫原子的人工合成高分子材料。一般稱作“不粘涂層”或“易清潔物料”。這種材料具有抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑的特點(diǎn)，幾乎不溶于所有的溶劑。同時(shí)，聚四氟乙烯具有耐高溫的特點(diǎn)，它的摩擦系數(shù)極低，所以可作潤(rùn)滑作用之余，亦成為了易清潔水管內(nèi)層的理想涂料。

大直徑晶片的清洗采用上述方法不好其清洗過(guò)程的完成，通常采用單晶片清洗法，其清洗過(guò)程是在室溫下重復(fù)利用DI-O 3/DHF清洗液，臭氧化的DI水（DI-O3 ）產(chǎn)生氧化硅，稀釋的HF蝕刻氧化硅，同時(shí)清除顆粒和金屬污染物。根據(jù)蝕刻和氧化的要求采用較短的噴淋時(shí)間就可獲得好的清洗效果，不會(huì)發(fā)生交叉污染。后沖洗不是采用DI水就是采用臭氧化DI水。為了避免水漬，采用濃縮大量氮?dú)獾漠惐掖迹↖PA）進(jìn)行干燥處理。單晶片清洗具有或者比改良的RCA清洗更好的清洗效果，清洗過(guò)程中通過(guò)采用DI水及HF的再循環(huán)利用，降低化學(xué)品的消耗量，提高晶片成本效益。

PTFE能承受除熔融堿金屬、氟元素和強(qiáng)氟化介質(zhì)以及300℃的氫氧化鈉以外的所有強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、強(qiáng)氧化劑、還原劑等的作用。它的耐化學(xué)腐蝕性能超過(guò)貴金屬、玻璃、陶瓷、搪瓷和合金等, 即使原子能工業(yè)中的強(qiáng)腐蝕劑上氟化鈾對(duì)它也不腐蝕。