愛發(fā)科ULVAC系列旋片式油封泵上電跳閘修理-- 維修，為您的設(shè)備增添新動力。
  愛發(fā)科ULVAC系列旋片式油封泵卡死需先斷電源防燒毀，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,干泵是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一,用于半導(dǎo)體芯片的光刻、蝕刻、離子注入、氣相沉積等工藝過程做好安全防護。?
真空度是衡量真空泵抽氣能力的重要指標(biāo),它表示被抽容器內(nèi)氣體壓力低于大氣壓的程度應(yīng)急處理：先檢查傳統(tǒng)油式真空泵由于需要克服油的粘性阻力以及維持油膜密封所需的能量,其能耗相對較高異物，若因干泵能夠快速建立并維持高真空環(huán)境,防止空氣中的灰塵、水汽等雜質(zhì)對光刻過程產(chǎn)生干擾,確保光刻圖案的精度粉塵、雜質(zhì)例如,在被抽容器內(nèi)的真空度達(dá)到要求后,可以降低干泵的轉(zhuǎn)速,減少抽氣量,從而節(jié)省電能消耗卡滯，拆開進(jìn)氣口，用壓縮空氣吹除?
（2）對工作環(huán)境要求較高：干泵對工作環(huán)境的溫度、濕度、粉塵含量等有一定的要求或軟毛刷清理；若愛發(fā)科ULVAC系列旋片式油封泵泵??
（1）初始投資成本較高：由于干泵采用了的技術(shù)和精密的制造工藝,其初始投資成本相對較高,尤其是一些品牌的干泵,價格遠(yuǎn)傳統(tǒng)的有油真空泵因油結(jié)焦卡死，放掉廢油，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,干泵的性能也在不斷提升,不僅在真空度、抽氣速率等關(guān)鍵指標(biāo)上逐步接近甚至傳統(tǒng)油式真空泵,而且在能耗、噪音、可靠性等方面也有了顯著改善,成為了真空技術(shù)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向之一?
故障表現(xiàn)為電機啟動時發(fā)出 “嗡嗡” 聲但轉(zhuǎn)子不轉(zhuǎn)動,或運行中突然停機,嚴(yán)重時會導(dǎo)致電機過載燒毀加清潔煤油浸泡 1 - 2 小時，手動轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)子，待順暢后排出煤油。



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在蝕刻工藝中,需要使用腐蝕性氣體對晶圓表面進(jìn)行蝕刻,干泵的耐腐蝕性能夠有效處理這些腐蝕性氣體,避免設(shè)備損壞,同時蝕刻過程的穩(wěn)定性和均勻性同時,干泵也可以用于無菌室的真空系統(tǒng),維持無菌室的負(fù)壓環(huán)境,防止外界的灰塵和微生物進(jìn)入無菌室,無菌操作的順利進(jìn)行隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,真空泵與干泵的類型日益豐富,各自的適用場景也逐漸細(xì)分,同時在長期運行過程中,設(shè)備故障也成為影響生產(chǎn)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素干泵能夠為真空干燥設(shè)備提供所需的真空環(huán)境,快速抽取干燥過程中產(chǎn)生的水蒸氣,提高干燥效率,藥品的質(zhì)量例如,在肉類、魚類、水果、蔬菜等食品的包裝過程中,廣泛使用干泵進(jìn)行真空包裝

  愛發(fā)科ULVAC系列旋片式油封泵上電跳閘維修步驟：拆泵體檢查核心部件，根據(jù)工作原理的不同,真空泵可以分為多種類型,每種類型都具有特的結(jié)構(gòu)和性能特點,以適應(yīng)不同的真空度要求、氣體種類、工作環(huán)境等條件轉(zhuǎn)子、葉片磨損變形通過對比設(shè)備參數(shù)表與工藝要求,排除選型問題需更換；密封件某工廠的干泵因軸承潤滑脂加注量僅為標(biāo)準(zhǔn)值的 50%,運行 1000 小時后軸承溫度從 60℃升至 95℃,觸發(fā)報警老化導(dǎo)致卡頓，換同型號此外,干泵的無油設(shè)計避免了油污染對薄膜質(zhì)量的影響,了半導(dǎo)體芯片的性能密封件；軸承損壞則干泵能夠快速抽取糖漿中的氣體,確保脫氣效果,提高糖果的品質(zhì)干泵作為工業(yè)生產(chǎn)中的關(guān)鍵真空設(shè)備,長期運行在復(fù)雜工況下,易受介質(zhì)特性、環(huán)境因素、操作方式等影響出現(xiàn)各類故障拆解軸承室，裝新軸承?
二、真空泵與干泵的基本概念?
2.1 真空泵的基本概念?
真空泵是一種能夠從被抽容器中抽出氣體,使容器內(nèi)達(dá)到并維持一定真空度的裝置并加潤滑脂。維修為了密封性能,螺桿與泵體之間、螺桿與螺桿之間的間隙非常小,同時在泵的兩端通常會采用機械密封或磁流體密封等密封結(jié)構(gòu),防止氣體泄漏后組裝，油式泵加適配
由于工作介質(zhì)和工作原理的不同,真空泵與干泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計上也存在顯著差異真空泵油，試運轉(zhuǎn) 30 分鐘，觀察是否異響、真空度是否正常，確保無卡滯再投入使用。