Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場(chǎng)及磁場(chǎng)分布， 獲得出色的信號(hào) 探測(cè)效率， 從而可以在低電壓下達(dá)到亞納 米級(jí)分辨率。具體來說， 與標(biāo)準(zhǔn)的 Gemini 物鏡相比，它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場(chǎng)降低了 3 倍， 約 為 1mT ，并能夠進(jìn)行 1kV 以下亞納米成像， 而無需將樣品浸沒在電磁場(chǎng)中。

智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結(jié)合，新的智能自動(dòng)光 路調(diào)節(jié)讓您受益于以下特點(diǎn)：
? 通過聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束 會(huì)聚角，在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。

? 通過 Nano-twin 物鏡實(shí)現(xiàn)低電壓下的優(yōu) 化高分辨率
? 通過新的大視野概覽模式實(shí)現(xiàn)樣品導(dǎo)航和 高分辨率成像之間的無縫過渡
? 通過新的自動(dòng)聚焦功能和新的快速鏡筒對(duì) 中算法實(shí)現(xiàn)高速優(yōu)化圖像質(zhì)量。

智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)優(yōu)化了通過鏡筒的電子軌 跡，從而確保了在每個(gè)加速電壓下盡可能高 的分辨率。它還引入了新的自動(dòng)功能，在整 個(gè)放大倍數(shù)范圍內(nèi)(從 1 倍到 2,000,000 倍) 實(shí)現(xiàn)無縫對(duì)準(zhǔn)自由切換，并將觀察視野增 加了 10 倍，從而可以在單幅圖像中完整成 像 13 厘米的物體。GeminiSEM 560 保持了 市場(chǎng)上尺寸達(dá) 32k × 24k 的超大圖像存儲(chǔ)像素， 在大視野無畸變拼接成像方面優(yōu)勢(shì)。

分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下， 電子束色差降低， 從而實(shí)現(xiàn)更小的束斑。
在樣品臺(tái)減速技術(shù)模式下， 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進(jìn)一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強(qiáng)背散射探測(cè)器的檢 測(cè)效率。

背散射電子產(chǎn)生于樣品表面之下，可提供 樣品材質(zhì)成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射， 被 Gemini 鏡筒電子束推進(jìn)器吸入后射 到鏡筒內(nèi)。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量，它們會(huì)在電 子束推進(jìn)器內(nèi)產(chǎn)生不同軌跡。

大部分的背 散射電子能夠穿過 Inlens SE 探測(cè)器，并被 EsB 探測(cè)器收集。此外， Inlens EsB 探測(cè)器 還可有選擇地收集不同能量的背散射電子。 如果出射角大于 15 度， 則 BSE 無法進(jìn)入鏡 筒，但會(huì)被 AsB (角度選擇背散射) 或可 抽插式 aBSD 探測(cè)器探測(cè)到。aBSD 探測(cè)器 能夠提供樣品的成分襯度、形貌和 3D 表面 信息。樣品室背散射電子探測(cè)器( BSD )和 掃描透射電子探測(cè)器可以在低加速電壓下 擁有更率，且能實(shí)現(xiàn)超速成像。

擴(kuò)展功能
■ 與蔡司電鏡可實(shí)現(xiàn)聯(lián)用, 實(shí)現(xiàn)樣品的多尺 度多維度研究;
■ 搭載第三方配件, 如冷熱臺(tái), 拉伸臺(tái), 實(shí) 現(xiàn)樣品原位 4D 分析;
■ 搭載 Airyscan 實(shí)現(xiàn)高分辨熒光成像;
■ 配置 ZEN Intellesis 軟件提供基于機(jī)器學(xué)習(xí) 的圖像分割解決方案,可用于鑒別復(fù)雜樣 品的不同相組織。

成像靈活.光學(xué)顯微鏡和共聚焦顯微鏡二合一
■ 實(shí)現(xiàn)反射光和透射光的觀察, 同時(shí)也可進(jìn) 行形貌表征;
■ 使用寬場(chǎng)觀察方式實(shí)現(xiàn)樣品的定位, 便于 共聚焦顯微鏡進(jìn)—步原位分析;
■ 無需切換顯微鏡, 減少儀器設(shè)置時(shí)間, 提 高獲得結(jié)果的效率。