隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,產(chǎn)品性能的不斷提高和改善,對(duì)半導(dǎo)體的表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)格,迫使行業(yè)內(nèi)的清洗裝置也在逐步的改善。
PFA花籃又叫PFA清洗花藍(lán) 、 特氟龍卡匣、 特氟龍晶舟盒、特氟龍晶圓盒、特氟龍晶片清洗架、特氟龍晶圓架、特氟龍刻蝕花籃、特氟龍刻蝕清洗架、PFA顯影花籃
產(chǎn)品特點(diǎn):耐高溫,使用溫度在-200~+260℃;耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿等強(qiáng)腐蝕樣品,比如:王水、魔酸、氫fu酸、鹽酸、硝酸、liu酸等以及各種有機(jī)溶劑;低的溶出和析出,金屬元素空白值低,鉛鈾含量小于0.01ppb;
用途:用于半導(dǎo)體硅片,晶片,玻璃,液晶屏等清洗、腐蝕設(shè)備的承載花籃,太陽(yáng)能電池片花藍(lán)、太陽(yáng)能硅片花藍(lán)_太陽(yáng)能硅片承載器、光伏電池片花藍(lán)、光伏硅片花藍(lán),用于太陽(yáng)能電池硅片清洗設(shè)備中,用于承載方形太陽(yáng)能電池硅片;
四氟花籃多晶硅新材料能源行業(yè)的產(chǎn)品特性:
PFA也稱(chēng)改性聚四氟乙烯,Teflon;PFA花籃適用于半導(dǎo)體、多晶硅、新能源、新材料、太陽(yáng)能等行業(yè);一般用于太陽(yáng)能硅片擺放,清洗,泡酸等。
尖頭:用于夾取比較小的樣品,如太陽(yáng)能硅片、鋰片等。
扁頭:用于夾取片狀、薄狀樣品,可以避免因夾取時(shí)接觸面積較小,而使所夾取樣品滑落;頭部可以做成帶齒狀的,夾取特殊樣品時(shí),更加方便、實(shí)用。