潔凈車間,亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。
在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、治療、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過程中,對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、治療等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。
玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的大發(fā)源地:靜坐時(shí),人體每分鐘散發(fā)10萬個(gè)粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細(xì)胞,一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。
半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源,經(jīng)測(cè)試,作業(yè)人員占80% 。
十萬級(jí)GMP潔凈車間對(duì)不同的對(duì)象,有不同的玷污物控制要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
微電子、光電子、電子材料、儀器儀表、精密機(jī)械、制藥及生物工程、飲料、食品、化妝品、醫(yī)療衛(wèi)生(潔凈手術(shù)室及實(shí)驗(yàn)室);航空、印刷包裝、航天及科學(xué)等。
千級(jí)無塵室和百級(jí)無塵室主要區(qū)別:灰塵顆粒容量不一樣。
1、萬級(jí)無塵室0.5微米的灰塵顆粒小于9000萬個(gè),千級(jí)無塵室0.5微米的灰塵顆粒小于900萬個(gè),百級(jí)無塵室0.5微米的灰塵顆粒小于100萬個(gè);
2、萬級(jí)無塵室5微米的灰塵顆粒小于60萬個(gè),千級(jí)無塵室5微米的灰塵顆粒小于5萬個(gè),百級(jí)無塵室5微米的灰塵顆粒小于0萬個(gè);
3、潔凈度:白級(jí)大于千級(jí),千級(jí)大于萬級(jí)。