半導(dǎo)體測(cè)試探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括芯片設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓測(cè)試和半導(dǎo)體成品測(cè)試。它起著連接芯片/晶圓與測(cè)試設(shè)備,并進(jìn)行信號(hào)傳輸?shù)暮诵淖饔?,?duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量控制具有重要意義。
垂直探針可以對(duì)應(yīng)高密度信號(hào)觸點(diǎn)的待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的細(xì)間距排列,針尖接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過(guò)針體本身的彈性變形來(lái)提供。懸臂探針為探針部提供適當(dāng)?shù)目v向位移,用于通過(guò)橫向懸臂接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品,以避免探針部對(duì)待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品施加過(guò)大的針壓。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程十分復(fù)雜,任何一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯(cuò)誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對(duì)終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測(cè)試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中具有非常重要的地位,貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、包裝和應(yīng)用的整個(gè)過(guò)程中。
探針是半導(dǎo)體試驗(yàn)所需的重要耗材。通過(guò)與試驗(yàn)機(jī)、分揀機(jī)、探針臺(tái)配合使用,可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計(jì)缺陷和制造缺陷,用于設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓試驗(yàn)和成品試驗(yàn)。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)和工藝改進(jìn)方面發(fā)揮著重要作用。
探針的要求
(1)質(zhì)量問(wèn)題:在使用過(guò)程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問(wèn)題:在探針的制作過(guò)程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測(cè)量過(guò)程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測(cè)量,對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)量的情況要確保探針之間的長(zhǎng)度和間距足夠。
(4)存儲(chǔ)和保養(yǎng)問(wèn)題:盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無(wú)除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
鍍金探針廢料的收集是回收過(guò)程的首要步驟。廢料可以從電子制造廠(chǎng)、研究機(jī)構(gòu)和廢舊電子產(chǎn)品處理中心等渠道獲取。收集過(guò)程需要與這些機(jī)構(gòu)建立合作關(guān)系,確保廢料的穩(wěn)定供應(yīng)。