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專利文獻CN1205362C公開了 一種直拉硅單晶爐熱場的氣流控制方 法及裝置，其包括在單晶爐晶體生長室內(nèi)的石墨加熱器和保溫筒間裝有密 封導氣裝置，使含有一氧化硅的氣體的氣流經(jīng)密封導氣裝置的導氣管 及排氣口，在真空泵的作用下，排出爐外。密封導氣管裝置由導氣管、底 座、密封環(huán)、排氣口所組成，安裝在石墨加熱器和保溫筒之間。上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處在于單晶爐的坩堝支持器下方的混合氣體 不能有效的排出，從而使混合氣體中的一氧化硅對加熱器和坩堝進行腐蝕， 影響單晶爐的使用壽命。且其向爐內(nèi)充入時的充氣氣壓在1. 3xi0a 以上，導致其流量較大，故而消耗量大，生產(chǎn)成本較高。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，計長輸入小板作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測)7.觸發(fā)放大板(兩塊)作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測)8.PLC作用原理以及類型輸入輸出(好壞如何檢測)9.歐陸表的型號原理,以及一般調(diào)節(jié)方式和輸入輸出(好壞如何檢測10.電壓表,電流表,數(shù)顯表原理作用,數(shù)量輸入輸出(好壞如何檢測)11.真空計類型,原理作用以及輸入輸出(好壞如何檢測)12.堝跟比如何調(diào)節(jié)13.手操合的作用輸入輸出(好壞如何檢測)14.D/A板作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測)15.計算機的作用原理,操作以及調(diào)節(jié)方16.電源的原理型號以及作用,輸入輸出(好壞如何檢測)17.絲相關作用18.相關電位器的型號作用