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為了使拖板92更平穩(wěn)地升降，所述立柱10和拖板92之間還設(shè)置有用于導(dǎo)向拖板92的升降的導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置包括設(shè)置在立柱10上的導(dǎo)軌101和設(shè)置在拖板92上的滑塊，所述拖板92通過(guò)滑塊與導(dǎo)軌101的配合滑配在立柱10上。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述升降絲桿91的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。所述加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2內(nèi)的零部件，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)111、旋轉(zhuǎn)絲桿112、旋轉(zhuǎn)套113和固定座114，所述旋轉(zhuǎn)套113鉸接在拖板92上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座114上，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)111安裝在固定座114上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的一端部和旋轉(zhuǎn)電機(jī)111的輸出軸相連接，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的另一端部和旋轉(zhuǎn)套113通過(guò)螺紋連接，所述加料器旋臂8鉸接在拖板92上，以便通過(guò)旋轉(zhuǎn)電機(jī)111驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)絲桿112在旋轉(zhuǎn)套113內(nèi)旋進(jìn)旋出，使得固定座114產(chǎn)生位移，并使固定座114帶動(dòng)加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)。具體地，為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。

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而石墨加熱器作為加熱系統(tǒng)的核心部件,通過(guò)自身發(fā)熱作為整個(gè)熱場(chǎng)的熱量來(lái)源,因此也是整個(gè)熱場(chǎng)中為核心的部件。而加熱器的設(shè)計(jì)需要綜合考慮熱學(xué)、力學(xué)、電學(xué)、機(jī)械等各個(gè)領(lǐng)域內(nèi)的知識(shí),比較復(fù)雜,因此很多使用的加熱器都存在種種先天缺陷,造成使用時(shí)發(fā)熱不足、打火、變形過(guò)大、壽命過(guò)短等問(wèn)題。下文將從加熱器的使用要求入手,分析加熱器的設(shè)計(jì)。2加熱器的工作原理與使用要求分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本發(fā)明的直拉式單晶生長(zhǎng)爐中，經(jīng) 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長(zhǎng)，平均每個(gè)直拉式單晶生長(zhǎng)爐每 天可少消耗1440L，有效降低了生產(chǎn)成本，且利于在硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程 中單晶分子排列結(jié)構(gòu)的整齊性，還利于提高電阻率的均布性。(2)本發(fā)明 的直拉式單晶生長(zhǎng)爐中，碗形的氣流導(dǎo)向裝置設(shè)于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間，且氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔及一對(duì)電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對(duì)電極孔配合設(shè)置，有效地減小了爐內(nèi)空間，便于迅速及時(shí)地 將爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體排出，且利于減少熱能和的消耗量，使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外，由于該爐的排氣口與氣流 導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通，