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提拉頭：主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔、下爐筒：包括抽真空管道、底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)架和底座? 坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管 水管卡套等、管道布置：質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測(cè)器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜：電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、

南京下關(guān)直拉式單晶爐回收 控制屏回收現(xiàn)場(chǎng)報(bào)價(jià)

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為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置更好地驅(qū)動(dòng)導(dǎo)料管20提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，所述導(dǎo)流管20和支撐桿191均呈傾斜狀設(shè)置，所述支撐桿191和導(dǎo)流管20的傾斜方向及傾斜角度一致。為了增強(qiáng)外部化料器7的穩(wěn)固性，所述連接塊194少設(shè)置有兩個(gè)。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述絲杠192的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，半導(dǎo)體級(jí)直拉法的工藝控制\進(jìn)入21世紀(jì)以來,隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導(dǎo)體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來替代硅材料,但未來幾年可以預(yù)見,硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì),將會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當(dāng)廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進(jìn)行生長(zhǎng),終形成的。一般會(huì)采用直拉法進(jìn)行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會(huì)越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對(duì)熱場(chǎng)的設(shè)計(jì),工藝的過程控制,減少位錯(cuò)的產(chǎn)生,以及通過化學(xué)腐蝕對(duì)位錯(cuò)進(jìn)行檢測(cè)的相關(guān)問題。